マイクロ加工の物理と応用 （応用物理学選書 8）吉田 善一 裳華房
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マイクロ加工の物理と応用 （応用物理学選書 8）
吉田 善一
内容紹介（「BOOK」データベースより）
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
目次（「BOOK」データベースより）
１ マイクロ加工の意義／２ 光・電子・イオン／３ 粒子と固体との相互作用／４ 加工現象／５ 加工装置／６ マイクロマシニング
長期自宅保管の古本です。
カバーに若干のスレ、ヤケ、汚れ、傷み、経年感があり。中は3ページ程に折れはありますが、書込みありません。
自宅保管のため、神経質な方はご遠慮ください。
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